پردازش قطعات دقت نمی تواند تمام محتوای پردازش تمام سطوح را در یک فرایند تکمیل کند. کل فرآیند ماشینکاری پردازش قطعات دقیق را می توان به مراحل زیر تقسیم کرد:
(1) مرحله ریزش. اکثر کمکهای ماشینکاری از هر یک از سطوح ماشین برداشته می شود و مراجع دقیق ساخته می شوند. توجه اصلی این است که حداکثر بهره وری را افزایش دهد.
(2) مرحله نیمه پایان. حذف نقص هایی که ممکن است بعد از ماشینکاری خسته کننده رخ دهد، سطح ماشینکاری را به پایان می رساند، نیاز به درجه خاصی از دقت ماشینکاری دارد، ضمانت مقرون به صرفه برای اتمام کار، و ماشینکاری سطوح ثانویه را در همان زمان تکمیل می کند.
(3) پایان مرحله. در این مرحله، سرعت برش بزرگ، میزان تغذیه کم و عمق برش مورد استفاده قرار می گیرد تا حذف پایان تکمیل شده توسط فرایند قبلی، به طوری که سطح این قسمت به الزامات فنی الگوی می رسد.
(4) تکمیل مرحله. به طور عمده برای کاهش مقدار زبری سطح استفاده می شود و یا سطح ماشین را تقویت می کند. این عمدتا برای پردازش سطح با زبری سطح بالا (μm 0.33) استفاده می شود.
(6) مرحله پردازش فوق العاده دقیق. دقت پردازش 0.1-0.01μm و مقدار زبری سطح است ra ≤ 0.001μm. روش های اصلی پردازش عبارتند از: برش دقت، آسیاب دقت آینه، دقت سنگ زنی و پرداخت، و غیره